射频离子源系统（清采比选20241647号）采购公告
· 2024-11-18
采购项目名称:清华大学
采购项目编号:10003
采购单位:清华大学
付款方式:合同签订后70%，验收合格后30%
交货时间要求:签订合同后3个工作日内
交货地址:北京市清华大学
技术参数及配置要求:t主要技术参数：厂商需具备聚焦离子束在工艺和应用上的指导和开发经验，能够配合用户完成在系统上的二次开发，包含硬件支持和软件开发。1.1 离子束系统的集成：完成离子束系统在用户指定场景或设备上的安装、调试与测试；1.2 提供工艺工装1套，并辅助用户进行工艺相关工装设计；1.3 射频离子源主源：1台；1.4 射频中和器
采购项目编号:10003
采购单位:清华大学
付款方式:合同签订后70%，验收合格后30%
交货时间要求:签订合同后3个工作日内
交货地址:北京市清华大学
技术参数及配置要求:t主要技术参数：厂商需具备聚焦离子束在工艺和应用上的指导和开发经验，能够配合用户完成在系统上的二次开发，包含硬件支持和软件开发。1.1 离子束系统的集成：完成离子束系统在用户指定场景或设备上的安装、调试与测试；1.2 提供工艺工装1套，并辅助用户进行工艺相关工装设计；1.3 射频离子源主源：1台；1.4 射频中和器
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